二手 LAM RESEARCH Flex GX #9261810 待售

LAM RESEARCH FLEX GX是专门为半导体、MEMS和相关行业设计的精密蚀刻/灰烬设备。该系统具有可重复和可定制的流程性能,比手动和离散流程提供了显着的吞吐量改进。FLEX GX单元具有可靠的低频、高精度、高性能驱动器和获得专利的强制空气冷却机,有助于保持一致的刀具温度。该工具还包括一个获得专利的双烧蚀头，允许它一次蚀刻两个组件。第二个烧蚀头提供了明显更高的蚀刻速率和更短的蚀刻时间,使其成为大型和复杂组件的理想选择。LAM RESEARCH FLEX GX资产旨在优化精度、重复性和吞吐量。它采用直接视觉成像模型，采用先进的方法来实现微米级的精度和重复性。视觉设备的使用提供了一种在蚀刻/灰烬处理之前对材料表面进行表征的方便和准确的方法。FLEX GX系统还提供高级流程控制,允许用户提高生产率和工具性能。该单元适用于半导体器件制造、MEMS器件制造、光学器件制造、复杂封装等应用。该机还能蚀刻包括金、铜、铝、钛等非金属在内的金属。它提供了一个通用的蚀刻过程，允许更大的控制和精确度成型材料。LAM RESEARCH FLEX GX工具结合了精确度、重复性和吞吐量功能,成为半导体行业中满足蚀刻/灰化需求的理想解决方桉。资产的多功能性和灵活性使其适用于广泛的ASM、光刻和蚀刻/灰化过程。该模型为需要最高级别的工艺控制的行业提供了可靠可靠的蚀刻/灰化解决方桉。