二手 LAM RESEARCH G3D #293637257 待售

LAM RESEARCH G3D（前身为Varian G3D）是一种高级蚀刻器和asher，用于高端半导体制造工艺。LAM RESEARCH G3D是一种大型机器，能够蚀刻、粉刷和清洁小到中等尺寸的基板，同时以高通量的速度沉积材料薄膜。它具有先进的双磁控管工艺,提供高水平的工艺一致性和可靠性。G3D具有确保半导体芯片高质量生产的多项功能。全真空设备可确保晶片或基板不暴露于可能损坏芯片的污染物或其他元素。它还具有强大的过程控制系统，具有广泛的用户可配置设置，以及高响应反应性控制单元。LAM RESEARCH G3D还有两个高温加热区，可以快速处理不同类型的材料，包括复合半导体和薄膜材料。可变压力蚀刻室使其蚀刻更加细腻，而大真空室则有助于降低"过滤效果"的可能性。G3D的快速吞吐量和高质量生产使其成为半导体制造的理想选择。它也适用于广泛的其他过程，如显示屏、MEMS和LED行业中的那些。此外，LAM RESEARCH G3D由于其高效的等离子体蚀刻和灰化能力，提供了一个经济高效的解决方桉。G3D还具有若干安全功能，旨在保护操作员免受潜在危险情况的影响。它有一个集成的安全机器,用于监视所有用户可配置的参数,并将这些设置的任何更改通知操作员,以防止错误的设置或进程错误。还包括一个低压报警工具，用于警告室内的任何危险压力波动。总体而言，LAM RESEARCH G3D是一个先进的蚀刻器，具有较高的性能和可靠性。它为半导体制造和其他行业提供了一个有效的解决方桉，具有广泛的用户可配置设置、两个高温加热区和低压报警资产。G3D适合各种工艺,确保生产具有成本效益和高质量。