二手 LAM RESEARCH Gamma XPR #9365950 待售

LAM RESEARCH Gamma XPR是为半导体工艺而设计的蚀刻器/asher。这款高性能、经济高效的设备具有广泛的特性和优势,非常适合消费电子产品市场中的半导体制造工艺。该系统利用获得专利的特定于LAM的蚀刻化学技术，精确地蚀刻出高长宽比、深沟和具有精确侧壁轮廓的高分辨率特征。伽玛XPR通过小至1微米的沟槽深度和小于15度的侧角蚀刻实现精确的阶梯覆盖。该机组配备了三轴压电驱动的晶圆处理机，既提供高精度又提供快速吞吐量。这种集成的处理工具使LAM RESEARCH Gamma XPR能够同时处理三个200毫米或六个100毫米晶圆。此外，其独特的移动结构可防止晶片对晶片的潜在污染，从而获得高度可靠的产品产量。Gamma XPR具有高级资产级别功能,可在灰度、蚀刻和溅射过程中提供前所未有的过程控制。其先进的软件算法和诊断能够实现准确的流程监控,从而实现从一次运行到下一次运行的一致流程性能。该模型还采用了LAM的EasyPulse直流电源能力，使其能够量身定制直流脉冲参数倾斜蚀刻深度分布，从而实现高度精确的蚀刻轮廓。此功能有助于减少对额外的蚀刻后处理步骤的需求,从而节省时间并最终节省资金。LAM RESEARCH Gamma XPR 蚀刻器/asher还得到LAM全面的客户服务计划的支持,提供全天候技术支持和主动支持计划,以确保您的设备高效可靠地运行。这些客户服务计划保证您的蚀刻器/asher能够可靠地运行,并且性能达到峰值。