二手 LAM RESEARCH IGS #9157986 待售

LAM RESEARCH IGS （Integrated Geometry Equipment, Integrated Geometry Equipment）是为晶圆处理而设计的蚀刻/灰化沉积系统。它在单个平台中结合了多种蚀刻/灰化技术,以创建高级阵列层。其先进的工艺控制确保了关键应用的材料均匀性和可重复性。IGS平台配备了ACPI自动轮廓控制，搜索沉积物料的图样密度和轮廓变化，并进行过程调整以确保层精度。它还包括一个背景增强单元，在颗粒密集的区域或加工室底部附近停止蚀刻过程。这些预防性维护功能优化了蚀刻精度,确保了材料的均匀性.LAM RESEARCH IGS机也设计用于多步蚀刻。它允许用户使用多个腔室通道执行复合蚀刻,从而创建少量材料的复杂模式。它还能够检测和断开需要复杂设计或准确度参差不齐的蚀刻步骤,从而最大限度地减少所花费的时间。对于较大的应用,IGS可以与LAM RESEARCH SMO （Sentry Monitor Oasis）或ELS-A （Edge Lead Strip Automation）系统结合使用。这些自动化系统允许用户应用层包含和排除,以适应设备集成要求以及高级源和设计。LAM RESEARCH IGS还提供流程可追踪性,允许操作员自定义数据驱动的工作流过程以满足客户的要求。通过此功能,用户可以跟踪生产记录、产量、趋势和环境数据。IGS提供经济可靠的蚀刻/灰化功能,为各种关键晶片应用程序的高级阵列和沉积过程提供便利,确保设备集成成功。其先进的自动化功能、过程控制功能和数据驱动的可追踪性工具使其成为一种非常宝贵的设计工具。