二手 LAM RESEARCH IGS #9157989 待售

LAM RESEARCH IGS（电离气源）是晶圆製造过程中使用的专门蚀刻/剥离工具。用于从晶片表面蚀刻和剥离多层薄膜。这款蚀刻器/asher是一款高密度等离子体（HDP）工具，与其他设备相比以独特的方式运行。该工艺利用等离子体和蒸气相技术实现超低压和超高密蚀刻。IGS由主反应室和气相反应室两个主腔室组成。主反应室，系统的心脏，包含一种在高压下引入腔室的过程气体。这种压力指向底物底部，使离子与蚀刻抗蚀剂和底层材料反应，形成溅射残留物。该反应完成后，腔室上部再用惰性载气清洗，除去任何挥发性蚀刻产物。气相反应室用于剥离薄膜。在该腔室中，在高温下引入工艺气体，导致抗蚀剂汽化并从基板表面除去。采用先进的温度和气流控制系统优化了特定薄膜类型的去除工艺。LAM RESEARCH IGS能够实现极高的蚀刻速率、低离子蚀刻选择性、高蚀刻均匀性和高工艺稳定性。此外，蚀刻速率可以控制到非常精确的程度，以便使成像和光刻精确。由于其先进的特性，如集成洗涤器，IGS还结合了高吞吐量和卓越的安全标准。总之，LAM RESEARCH IGS是一种用途广泛、精度高、效率高的蚀刻/剥离工具。利用先进的工艺控制功能，该蚀刻器非常适合晶圆制造工艺的苛刻需求。