二手 LAM RESEARCH IGS #9157990 待售

LAM RESEARCH IGS（感应耦合等离子体反应性离子蚀刻器/Asher）是为半导体工业应用而设计的先进蚀刻设备。它基于专用的LAM脉冲等离子体反应性离子蚀刻（PPP-RIE）技术，允许快速、高精度的蚀刻过程，而无需额外的危险材料。IGS 蚀刻器/asher具有完全封闭的腔室，并允许用户利用广泛的蚀刻过程，同时实现精确的速度、深度和横向控制。LAM RESEARCH IGS系统利用稳健的动力平台，产生无电极感应耦合等离子体（ICP）反应室。这款高压发电机具有主动电磁和可调节的电压和电流水平，可精确控制等离子体层。它产生一个低温、高密度的等离子体层，使得蚀刻时间比传统蚀刻工艺所能达到的快。IGS单元包括一些连接到气体分配底盘的独立气源。然后将这些气体溷合，然后送入腔室，允许同时进行多次蚀刻过程。LAM RESEARCH IGS机的另一个特点是集成优化工具，它允许实时的过程优化。优化资产使用位于蚀刻室和加工硬件中的各种传感器，以及专门的软件来持续监控蚀刻过程。这种紧密集成的模型有助于确保蚀刻和灰化操作按预期进行,并允许用户根据需要进行校正调整。多功能IGS 蚀刻器/asher非常适合广泛的应用，如MEMS、MEMS传感器、纳米技术、微型制造、生物医学设备、光电、微机电系统（MEMS）、微电路和其他特殊应用。凭借先进的特点和能力，它是半导体行业首屈一指的蚀刻设备。