二手 LAM RESEARCH IGS #9157991 待售

LAM RESEARCH IGS是一种用于制造微小型和纳米级集成电路的蚀刻器和asher。它是一种多功能蚀刻器，设计用于在单个工具中蚀刻、清洁、溅射、沉积和粉刷晶片。IGS具有高蚀刻精度和均匀性、低颗粒水平、光学循环监测等先进特性。LAM RESEARCH IGS在真空室中运行，使蚀刻器能够控制蚀刻循环的端点并提高均匀性。IGS蚀刻器能够提供高达5,000 sccm的蚀刻气流。ICP溅射源用于将金属薄膜沉积到晶圆表面上，形成互连结构。溅射源允许沉积在铝、钛、铜和金等多种材料上。LAM RESEARCH IGS装有单晶片灰化室，蚀刻后用于除去光致抗蚀剂。晶圆加载到灰烬室中，然后暴露在高温等离子体灰烬中。这个过程除去了光刻胶，允许高精度蚀刻。IGS旨在提供精确的蚀刻和灰化过程控制。蚀刻器软件具有配方编辑器，允许用户指定蚀刻参数，如气体溷合物、压力、温度和其他工艺参数。集成了一个实时过程监控系统，以测量能够实现过程优化的蚀刻和灰化过程参数。LAM RESEARCH IGS具有多种安全功能和硬件控制器，以确保过程的准确性和安全性。这些功能提供了流程保护模式、紧急停止按钮和错误警报,可防止对系统和晶圆造成任何损坏。IGS紧凑,集成了一个小的脚印,便于在任何实验室环境中安装和使用。总体而言，LAM RESEARCH IGS是一款先进的蚀刻机，具有精密蚀刻和灰化、减少颗粒和获得高通量的功能。IGS配备了众多的安全特性和仪器，确保晶圆的完整性和工艺的准确性。它是制造微小型和纳米级集成电路的理想工具。