二手 LAM RESEARCH INOVA NEXT #9138133 待售

LAM RESEARCH INOVA NEXT是一款最先进的蚀刻和灰化设备,专为需要高生产率、最佳工艺控制和最高质量精度结果的关键应用而设计。INOVA NEXT非常适合要求比以往更先进生产能力的半导体制造商。LAM RESEARCH INOVA NEXT是一个完全自动化的集成蚀刻和灰化系统,具有强大的功能,如过程自动化、精确计量功能以及对窗户清洁和基板处理的远见卓识。INOVA NEXT提供了更高的吞吐量,包括低周期时间、同时加载和卸载以及快速腔室过渡-比以前的型号快20%。其工艺室的创新设计降低了颗粒生成，降低了颗粒污染的风险。其智能保护单元通过实时测量关键参数和调整流程，帮助保持最佳清洁度。LAM RESEARCH INOVA NEXT还配有高质量的工艺控制，为蚀刻工艺提供完整的解决方桉。它具有专用的工艺预览功能，允许模拟干蚀刻工艺具有完整的底物特性。这样就提高了晶圆厂产量和工艺优化，同时提高了开发灵活性和下游产量提高。此外,它的众多连接选项可最大程度地集成和灵活地从有限集群扩展到最大集群。这台创新机器无缝支持GaAs、III-V、硅等技术。INOVA NEXT还支持涡轮机操作，从而解锁对epi/金属工具上可用的各种蚀刻工艺的访问。对于那些正在寻找最准确、最高效的金属蚀刻工艺的用户来说，这个工具是一个理想的选择。最后,LAM RESEARCH INOVA NEXT提供了业界领先的可靠性和保形沉积,实现了最佳的工艺端点和更低的周转时间。其组件独特而坚固的设计减少了停机时间,而其先进的计量功能确保了最高精度的结果。因此,总体而言,INOVA NEXT是需要可靠性能和最高精度结果的蚀刻和灰化应用程序的理想选择。凭借其先进的自动化和控制功能、高质量的过程控制和集成以及3D保形沉积功能，它是许多不同类型半导体应用的理想选择。