二手 LAM RESEARCH Inova next #9144982 待售

LAM RESEARCH Inova接下来是用于半导体器件制造的先进蚀刻器/asher。它是一种电化学蚀刻技术，允许精确控制蚀刻过程，使得复杂的垂直结构得以制造。它是器件制造中蚀刻介电层、金属轨迹和先进微米级结构的经济高效、可靠的解决方桉。接下来，Inova具有广泛的蚀刻工艺，包括湿化学、流蚀刻、反应性离子蚀刻（RIE）和先进的各向异性蚀刻技术。蚀刻器可以处理直径达150毫米的晶片。它具有特殊的环形高纵横比腔室，为深微米级结构提供了优化的蚀刻性能。接下来,LAM RESEARCH Inova提供了一个易于使用的软件套件,用于蚀刻过程控制和配方开发。它保持了良好的重复性和均匀性的蚀刻结果，并提供了最佳的蚀刻温度。该软件还支持半导体工艺控制，如温度映射、压力调节、气流以及对进料速率和材料的监测。蚀刻器/asher有一个精密的光学系统，允许快速调谐和高分辨率成像的蚀刻结果。它配备了精确的剖析系统，以监测蚀刻深度和结构宽度，允许优化蚀刻结果。接下来是用户友好和可靠的Inova。该系统具有多种安全特性，符合现行环境法规。蚀刻器/asher能够处理各种材料,使芯片制造商能够以高通量开发复杂的结构。LAM RESEARCH Inova接下来是专门为芯片制造而设计的先进可靠的蚀刻器/asher。它具有强大的工艺控制和先进的蚀刻技术，以产生高质量的结构精度和均匀性。该系统方便用户，成本效益高，符合最新的环境法规。