二手 LAM RESEARCH Inova #293610305 待售

LAM RESEARCH Inova是一种高度先进的蚀刻器/asher，用于关键蚀刻和干燥过程。该设备非常适合半导体工业中先进的晶圆加工。其集成设计能够提供卓越的性能，高吞吐量和卓越的质量控制。Inova拥有强大的IGI电源控制系统和强大的加热和冷却元件,可提供精确的温度和电源控制。该装置能够控制压力、反应时间和温度等工艺参数，以确保均匀的蚀刻速率和优越的工艺一致性。集成设计还包括一个高度精确的质量流控制器，用于精确测量蚀刻过程中使用的临界前体气体，提供了一个精度，从而提高了工艺产量。除了先进的气体控制能力外，LAM RESEARCH Inova还提供先进的材料选择和清洁控制。其先进的气体清洁度模块提供无颗粒的工艺气体，确保原始的蚀刻环境和可靠的蚀刻先进的基材。机器还提供了从各种材料中选择基材的能力，允许用户为不同的设备应用自定义过程。Inova得到了广泛的软件包的支持,这些软件包旨在提供流程智能、启用数据日志记录以及方便配方设置和修订。其直观的人机界面（HMI）设计方便，确保用户跟上所有的工具活动。LAM RESEARCH Inova还提供自动化过程控制（APC）资产,提供实时过程监控、严格的过程控制以及用于过程优化的宝贵信息。除了拥有集成的高效设计外，Inova在能耗方面也极具效率。这一模型的效率进一步提高，其通用的排气设计使用户能够定制其环境足迹以满足他们的需求。LAM RESEARCH Inova还设计为维护友好,减少停机时间并提高可靠性。除了令人印象深刻的能力，伊诺娃也极为实惠。其强大的设计和先进的功能使其成为任何半导体蚀刻和灰化工艺的经济高效的解决方桉。LAM RESEARCH Inova凭借其集成的设计、先进的工艺控制和成本效益，是半导体行业蚀刻和灰化工艺的理想选择。