二手 LAM RESEARCH Inova #293610306 待售

LAM RESEARCH Inova是一个模块化的蚀刻/灰化系统，设计用于特定的蚀刻和灰化过程。它是一个超稳定的平台，可以超越所有标准蚀刻工艺，并提供优化的精度。Inova提供最佳的蚀刻深度、更好的分辨率和最小化的污染,提供可靠和持久的性能。LAM RESEARCH Inova配备了两个200 sccm的高性能气源（He、Ar、N2和O2）、两个石英反应室和两个自动化的样品支架，允许在放置样品时充分灵活。它还具有可靠的水源清洁能力，具有集成的高流量水浴，有助于减少对化学溶剂的需求。Inova具有创新的蚀刻预测控制器和软件,可提高蚀刻控制的准确性和灵活性。蚀刻预测控制器连续监控蚀刻速率，并调整工艺参数以提高精度。这样可以提高产量，减少废物和基材的损害。标准的LAM RESEARCH Inova模块还具有多触发系统，允许在一个周期内激活多达五个独立的蚀刻过程。这使得它非常适合需要高吞吐量的复杂蚀刻/灰化应用。可选的准直离子束辅助（CIBA）功能可对时间临界样品分析过程（SAP）的离子通量进行卓越控制。除了先进的蚀刻技术外，Inova还提供全面的安全功能。这些包括声学柜子、离子陷阱、离子室以及多个进排气法兰等特性，有助于保持系统在运行过程中的清洁和安全。总体而言,LAM RESEARCH Inova在蚀刻和灰化方面提供了无与伦比的性能。凭借其先进的蚀刻预测控制器和全面的安全功能,Inova使用户能够创建独特的蚀刻/灰化解决方桉来满足他们的特定需求。