二手 LAM RESEARCH Inova #293610307 待售

LAM RESEARCH Inova是由LAM RESEARCH Corporation开发的高级蚀刻器/asher。这种最先进的蚀刻器/asher旨在提供高吞吐量、精确度和可靠性。Inova的先进能力包括低压基板蚀刻产生低热预算蚀刻剖面、高密度等离子体（HDP）蚀刻实现优越的蚀刻选择性、总晶片表面覆盖蚀刻确保精密的表面修改。LAM RESEARCH Inova的设计考虑到灵活性，允许为各种应用设置广泛的蚀刻参数。这包括调整气体溷合比的能力，以及调整压力、功率和温度，以达到所需的蚀刻性能。此外，Inova的高级软件控制包允许用户定制和优化蚀刻过程，以及实时监控和分析蚀刻结果。LAM RESEARCH Inova支持批量和单片加工，能够进行330mm晶圆加工。蚀刻室采用液氮冷却，确保均匀蚀刻工艺，为均匀剖面提供优越的冷却效果。它还设有一个带有自动压力控制系统的压力控制蚀刻室，旨在保持稳定的蚀刻环境。此外，Inova还配备了先进的远程诊断系统，提供增强的远程支持。LAM RESEARCH Inova在氧化物剥离、光刻蚀刻和硬面膜蚀刻等蚀刻应用方面提供优异的性能。此外，它还设计用来蚀刻各种材料，以及容纳不同的薄膜堆栈。这使得Inova成为半导体、MEMS和MEMC行业各种蚀刻应用的理想选择。综上所述，LAM RESEARCH Inova是一款先进的蚀刻/asher，专为快速、精确和可靠的蚀刻性能而设计。这种精密的蚀刻工具是全封闭的，提供受控蚀刻环境，并配有高级软件控制软件包，用于定制性能。此外，它支持批量和单片加工，能够进行330mm晶片加工，使其成为各行业蚀刻应用的绝佳选择。