二手 LAM RESEARCH Inova #293610308 待售

LAM RESEARCH Inova是一款具有高通量、精密工艺控制的先进蚀刻和灰化设备。它是市场上最新的设备，在进行蚀刻和灰化工艺时提供了最高的准确性和可靠性。Inova系统旨在处理各种蚀刻和灰烬处理任务。它采用先进的超高速溅射蚀刻/灰化机构进行设计,使其能够以比任何其他市售蚀刻器/灰化装置更高的跨步和分辨率提供优质蚀刻和任意灰分特征宽度。此功能使LAM RESEARCH Inova具有高度的过程控制和可重复性,非常适合半导体制造应用。该机器提供各种工艺选项,包括蚀刻、机械化蚀刻和反应性离子蚀刻（RIE）。它还具有先进的等离子体增强型化学蚀刻（PECE）功能,允许在工艺条件下具有更大的灵活性,并允许随时间进行调整（即使腔室处于真空状态）。Inova还具有广泛的可自定义功能,例如Adaptive Process Control （APC）、Advanced Profile Control （APC）和Adaptive Profile Control （APC）技术。这些功能允许用户即时更改其流程顺序,并根据其要求调整流程参数。此外,LAM RESEARCH Inova还配备了自动配方加载工具,通过将用户提供的配方加载到控制器中,用户可以轻松地从一个流程过渡到另一个流程。这样可以提高吞吐量,减少对操作员干预的需求。Inova还拥有丰富的蚀刻食谱库,包括定制的解决方桉,以及自己的内部食谱,使用户能够轻松实现所需的蚀刻和灰化条件。此外,LAM RESEARCH Inova凭借其直观易用的界面和用户友好的图形用户界面,提供了一种简单明了的过程控制方法-即使操作经验有限。Inova是用于蚀刻和灰化的强大工具,为用户提供最高级别的过程控制和灵活性。LAM RESEARCH Inova以其坚固可靠的设计，是各种半导体应用的理想解决方桉。