二手 LAM RESEARCH Inova #293662993 待售

LAM RESEARCH Inova是一款蚀刻器/asher，旨在为陶瓷、聚合物基板和玻璃提供高效、精确的蚀刻。Inova是晶圆稀释、介电层蚀刻、激光钻孔、反应性离子蚀刻（RIE）等应用的领先干蚀刻机。它设计用于处理各种晶圆尺寸，从200毫米到150毫米，从2英寸到6英寸。LAM RESEARCH Inova旨在提供对蚀刻速率的精确控制,并在高级蚀刻工艺中提供更高的产量。伊诺娃是一位具有工业水平能力的高级蚀刻师。LAM RESEARCH Inova可以为各种流程配备多种不同的工具。它采用全自动机器人系统来处理晶片。它还包括一个等离子体源模块，以实现高速率蚀刻。Inova还能够与其他工具组件集成，如步进电机、金属主轴，以及一些不同的成像和计量系统。LAM RESEARCH Inova在整个蚀刻过程中提供精确的温度控制和压力控制。这有助于确保准确的蚀刻结果。此外，Inova还提供全方位的工艺气体控制。这种气谱控制为许多不同的应用提供了灵活性。LAM RESEARCH Inova也被设计成在处理基材和工艺污染时坚固。Inova包括可选的高精度装卸站，允许快速周转时间。还可以对LAM RESEARCH Inova进行自动化和远程监控，以确保蚀刻过程的质量和可靠性。蚀刻器还可用于半导体制造、MEMS制造和太阳能电池制造等一系列应用和行业。Inova是一种高级工具,它为许多蚀刻过程提供一致且可重复的性能。这种可靠、准确的机器旨在确保更高的产量率和更好的效果。此外,LAM RESEARCH Inova是一个提供灵活性和控制性的多合一蚀刻系统。这些功能使Inova成为各种应用程序的理想工具。