二手 LAM RESEARCH Inova #9315044 待售

LAM RESEARCH Inova 蚀刻器/asher是一种先进的、多配置的蚀刻器/asher设备，用于对硅、玻璃和金属薄膜等多种基材进行平面化和蚀刻。该系统配备了最先进的自动化、所有基本参数的计算机控制以及用户友好的功能，以确保高效、独立的运行。Inova设计用于执行离子束溅射（IBS）、反应性离子蚀刻（RIE）、深硅蚀刻（DSE）、热处理（TP）等蚀刻操作。利用它的多功能腔室，该单元还可以提供各种蚀刻型材，如果需要，以及结果是优秀的晶片对晶片的均匀性和精度。此外,该机器的设计允许多种基板配置进行精确和快速的蚀刻,从而提供高度一致的结果,而不考虑所需的特定配置。LAM RESEARCH Inova的最先进软件允许用户单独控制每个流程，提高关键参数稳定性。该工具还提供先进的温度控制室、精确的光学控制以及集成的支持和维护资产,以确保最佳性能。设计了Inova的腔室,并对其进行了真空密封,以获得最佳的工艺可重复性和稳定性。蚀刻器/asher还包括实时可视化和数据采集功能,使用户能够做出更好的过程和设备决策。其集成的光学端点模型允许用户监控深度、角度和临界尺寸，以获得准确的端点。LAM RESEARCH Inova的可编程面板显示屏具有直观的用户界面,增强了用户对蚀刻过程的控制和灵活性,提供了快速设置、视频图像分析以及高级数据管理和安全功能。该设备还具有集成的多工具功能，允许用户根据个别工艺条件和基板配置选择最佳蚀刻速率、功率、温度和冷却。伊诺娃的安全功能包括全天候跟踪过程活动、实时安全报警监控、静电放电保护，以确保人员在操作过程中的安全。最后，LAM RESEARCH Inova 蚀刻器/asher提供了一种先进的多配置系统，用于蚀刻和平面化各种基板。它提供了过程控制、可重复性、安全功能以及实时可视化和数据采集功能,使用户能够实现最佳性能、精度和一致性。