二手 LAM RESEARCH Isotropic chambers for 4520i #9352909 待售

LAM RESEARCH 4520i各向同性室设计用于各种蚀刻和灰化应用。该设备在有机和氧化物灰化和蚀刻过程中提供了无与伦比的可靠性、灵活性和性能。4520i通过其先进的控制系统,提供了与传统系统相比一致的过程重复性、卓越的一致性和极其高效的蚀刻一致性。作为一个全面的蚀刻系统，腔室还提供卓越的侧壁特点，以及卓越的吞吐量。4520i腔室采用半自动配置,可为用户带来所有最基本的功能。该腔室的尺寸大约是标准200毫米湿式工作台的两倍，并配备了一整套创新功能，包括可编程的频率泵送和通用滑架。此外，工艺室设计采用密封的欧洲喷气真空装置，为某些蚀刻工艺提供高达5微米的基本压力。4520i的高级控制系统能够精确控制整个过程。用户界面专为直观操作而设计,便于设置和参数修改。该机还配备了包括130多种食谱在内的综合食谱库；所有这些都可以修改以适应特定的工艺参数。此外,4520i允许用户在蚀刻或灰化过程中实时监视参数,以确保过程稳定性和过程一致性。4520i以其先进的腔室设计设计最大限度地提高吞吐量。蚀刻或灰化工艺需要较低的工艺负载，从而为腔室边缘的晶片留出更多空间。该腔室还提供了增强的晶片对晶片均匀性和更大的吞吐量，由于其开放的设计。由于其嵌入式功能,该工具可配置最多15分钟和最低3分钟的处理时间。这使得它适用于包括低成本试运行和生产批次在内的广泛应用。4520i各向同性腔室的半自动设计使其成为需要可靠、可重复和精确工艺性能的蚀刻或灰化工艺的绝佳选择。由于其先进的控制系统,它提供了一致的蚀刻速率和卓越的吞吐量。此外,此资产具有极大的灵活性,可以轻松定制以适应特定的流程要求。