二手 LAM RESEARCH Kiyo EX #293630220 待售

LAM RESEARCH Kiyo EX是一款高级蚀刻/asher工具，旨在提供高吞吐量、低维护和经济高效的材料处理。其独特的双室架构使工具能够提供低成本的每批蚀刻和asher工艺。双室结构允许独立的气体处理，从而实现同时蚀刻和灰化功能或独立的晶圆处理。强大的源级脉冲电子和过程控制软件能够在严格的过程边距下精确控制蚀刻和灰度参数。Kiyo EX提供了首屈一指的高吞吐量、统一性和可重复性。其3-4晶片/分钟的高输出率和高达300 mm的可加工晶片尺寸在业界是无与伦比的。双腔室架构允许与上游或下游的其他工具组队，用于晶圆处理和或非常复杂的过程。源级脉冲电子实现了精密的过程控制，具有配方的可追踪性和准确的过程模拟。控制器由Windows CE操作设备提供动力,具有专用的图形界面,可控制各种参数,设置配方参数,包括气体类型、腔室压力、晶圆速度、晶圆温度和其他过程变量。LAM RESEARCH Kiyo EX还具有先进的安全和环境保护功能，如主动清洗系统，以确保高工艺安全性。其先进的监测和控制系统具有一个自我诊断单元，该单元检查以确保机器合规性，并内置用于气体处理的安全联锁开关。主动冲洗能力与低级排气流量控制工具相结合，有助于保持敏感过程如LEF和钝化的安全环境。总体而言,Kiyo EX提供了卓越的功能,可实现经济高效的高吞吐量蚀刻和降低流程。其双腔室架构、先进的过程控制和安全特性使其成为蚀刻和粉刷应用的首选。它具有广泛的应用范围,是满足任何工业或研究材料加工要求的理想工具。