二手 LAM RESEARCH Kiyo EX #293824451 待售

LAM RESEARCH Kiyo EX是一款高性能的下一代蚀刻器，专为先进的设备制造应用而设计。它基本上可以蚀刻任何类型的材料，如硅、玻璃和金属，尺寸不超过1微米。该设备具有最先进的多区域等离子体源和压控无角蚀刻（PCKE）腔室，用于精确的蚀刻控制和工艺重复性。这种下一代蚀刻器利用自我优化的等离子体源，最大限度地减少晶圆阵列性能中的非均匀性，实现更快的吞吐量。该系统采用新颖、高密度、感应耦合等离子体（ICP）源以及优化的磁场来控制蚀刻过程。该单元配备了空间能力，以适应具有多种磁场配置的重迭或双波长辐射源，在蚀刻性能和高密度DRAM层的整合方面提供灵活性。其改进的自动化现场端点检测机器有助于确保在几乎任何基板上精确和可重复的地形蚀刻。KiyoEX的其他一些特性包括一个新颖的移位流蚀刻室（SFEC）以提高蚀刻均匀性，以及一个查找表（LUT）过程控制以快速准确的过程重复性。此外，该工具还可以配置多种不同的工艺，如等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）、原子层沉积（ALD）和溅射，确保与各种应用完全兼容。资产上的蚀刻室采用高温不锈钢建造，脉冲直流供电单元设计为减少谐波失真，最大限度提高功率效率。LAM RESEARCH Kiyo EX是各种先进设备制造工艺的完美解决方桉。凭借其高效可靠的性能,Kiyo EX推动了最高的产量和最低的总拥有成本（TCO）。为了提供无与伦比的性能,LAM RESEARCH Kiyo EX是先进设备制造商的可靠蚀刻解决方桉。