二手 LAM RESEARCH Kiyo EX #9270879 待售

LAM RESEARCH Kiyo EX是一款针对半导体行业量身定制的蚀刻器/asher。它是一种高性能的工具，能够在绝缘体（SoI）晶片上蚀刻和灰化各种材料如硅、砷化氙和硅时取得优异的效果。它配备了功能强大且用户友好的控制器,在控制蚀刻和灰烬过程方面具有完全的灵活性。工艺参数是可调的，提供了高度的精度和精确度。它也是低k和III-V器件制造的理想选择。Kiyo EX由强大的等离子体源、蚀刻室和晶圆映射表等几个子系统组成。等离子体源提供可靠、均匀和有效的金属离子传递，并负责在晶圆表面进行均匀蚀刻。蚀刻室由淋浴头、循环泵和排斥运输等几个部件组成。该蚀刻室设计为提供均匀的深度和层状蚀刻。晶圆映射表用于定位和对齐要蚀刻的晶圆。这确保了蚀刻过程的精确度和可重复性。LAM RESEARCH Kiyo EX提供多种蚀刻化学，例如基于HF的化学、Cl2-based化学和基于HBr的化学，以及各种背景气体，以方便均匀蚀刻。它还配备了多个等离子体发生器，可以将离子和能量精确地沉积到晶圆表面上。Kiyo EX拥有一系列配件和附加模块，使其成为高级蚀刻和灰化操作的完美工具。它是一种高度通用的工具，能够处理直径从2英寸到200毫米不等的基板。LAM RESEARCH Kiyo EX还具有多种安全功能，如互锁和气体感应，可保护工具免受任何潜在损坏。适合各行业批量蚀刻和灰化操作，适用于行业标准蚀刻和灰化应用。KiyoEX具有多功能性和精确度,是任何蚀刻和灰化工艺的完美工具。