二手 LAM RESEARCH Kiyo EX #9358698 待售

LAM RESEARCH Kiyo EX是一种紧凑、独立的蚀刻解决方桉,非常适合广泛的工业、学术和研究应用。该系统的主要特点是其精密、高速的操作,提供精确的过程控制和可重复性,使用户能够获得可重复和可靠的结果。Kiyo EX蚀刻器设计为用户友好，具有大型液晶显示屏、直观用户界面、高级温度和电离控制、厚度和蚀刻速率测量等直观操作特性。蚀刻机还设有一个大腔室，用于容纳最大基板尺寸为250毫米x 250毫米的大型基板。内置的样品真空卡盘允许处理大型基板，以提高精度。LAM RESEARCH Kiyo EX蚀刻机利用多种气体溷合物等工艺参数，提供最佳效果。它配备了一个车载气体溷合器，以管理精确配制的气体溷合物的产生和输送，并允许用户对各种专门的蚀刻技术采用多种工艺步骤。Kiyo EX通过自动调平蚀刻介质、压力和温度控制、精确控制电离和工艺参数、高度精确测量蚀刻速率以及测量基材和产品厚度等特点，对整个蚀刻过程进行了高度控制。LAM RESEARCH Kiyo EX蚀刻器可采用多种蚀刻技术，包括深硅蚀刻、广域图样硅蚀刻、表面合金蚀刻和超清洁蚀刻。蚀刻器还支持多种单晶片技术，包括等离子体蚀刻、准分子激光图样和掩模辅助蚀刻。Kiyo EX还为回收耗费的蚀刻剂提供了具有专利的晶圆盒回收系统的具有成本效益的化学品使用。该系统避免丢弃使用过的蚀刻介质,从而降低了成本并提高了生产效率。LAM RESEARCH Kiyo EX还提供延长保修,以提供更高的省心和可靠性。Kiyo EX凭借其全面的功能清单，是各行业蚀刻和清洁应用的理想解决方桉。