二手 LAM RESEARCH Kiyo EXP #293642656 待售

LAM RESEARCH Kiyo EXP是一款利用高密度等离子体技术在生产环境中提供卓越等离子体蚀刻性能的蚀刻/asher。该装置利用四个具有广泛等离子体蚀刻范围的射频源，可以精确灵活地蚀刻各种材料，包括Si、SiO2、SiN、SiON、GaN、UV等。该装置还具有精密等离子体清洗和沉积的能力，非常适合许多生产和研发应用。KiyoEXP的等离子体蚀刻工艺快速、准确，对材料蚀刻速率和特征地形控制良好。这种高精度的蚀刻能够精确控制深度微米特征。此外，LAM RESEARCH Kiyo EXP配备了在整个晶片表面均匀分布蚀刻气体的先进设备，提供均匀的蚀刻速率和特征侧壁角。Kiyo EXP的高级自动化确保将过程、材料和参数的正确组合用于蚀刻或清洁步骤。可以为每个过程存储不同的程序、配方和预定义的参数，可以根据需要进行召回和使用。该设备还具有数字I/O、自动调谐和晶圆重新定向等附加功能。LAM RESEARCH Kiyo EXP上的自动自诊断监控系统不断检查单元健康状况和运行状态，允许实时流程优化。该计算机还使用户能够通过以太网协议服务器通过安全的以太网远程访问数据。总而言之，Kiyo EXP是一个可靠高效的蚀刻/ashging平台，非常适合生产和研究应用。LAM RESEARCH Kiyo EXP具有高精度蚀刻功能、灵活性、安全的远程数据访问和自动健康监控功能,是市场上首屈一指的等离子体蚀刻/灰烬系统之一。