二手 LAM RESEARCH Kiyo EXP #9311228 待售

LAM RESEARCH Kiyo EXP是专门用于半导体加工的蚀刻器/asher。它是一个单晶圆蚀刻/灰化系统，旨在为复杂的超小型工艺几何形状提供对工艺气体的精确控制和快速吞吐量。Kiyo EXP具有高吞吐量，最大容量为每小时150个晶圆。其先进的设计最大限度地减少了气流湍流和化学残留物，实现了可重复的工艺产量。LAM RESEARCH Kiyo EXP拥有专利的低流量反应性增强蚀刻（REE）工艺，能达到200 nm/min左右的蚀刻速度。它提供了比传统蚀刻技术更高的选择性，最大限度地减少了重新沉积，使沉积物的清除不会过度蚀刻，并提高了产量。Kiyo EXP与有机和无机蚀刻工艺兼容，包括深RIE（反应性离子蚀刻）、干蚀刻、湿蚀刻。其高蚀刻速率和选择性使其非常适合蚀刻SiO2、SiNx和SiOC。它还能够用于内存和逻辑设备应用的高长宽比蚀刻和各向异性图样。LAM RESEARCH Kiyo EXP的化学操作范围为12英寸汞柱（mm/Hg）至1000 mm/Hg，温度范围为-25°C至+400°C。它有一个可选的板载质量流量控制器（MFC），用于精确控制气体，以及一个惰性气体控制系统，用于在400°C以上的温度下操作气体化学。Kiyo EXP还有一个高功率射频发生器，可以提供高达2000瓦的功率，用于蚀刻过程。LAM RESEARCH Kiyo EXP是一种可靠、精确的单晶圆蚀刻器/灰化器,非常适合需要精确蚀刻、高通量以及一系列温度和化学气氛的半导体制造工艺。其获得专利的REE工艺提供了比传统蚀刻技术更高的选择性，这有助于提高设备产量和提高工艺的可重复性。