二手 LAM RESEARCH KIYO FX STRIP #9311232 待售

LAM RESEARCH KIYO FX STRIP是一款先进的蚀刻/灰分32位设备,在很小的占地面积内提供精密蚀刻/灰分处理,因此非常适合大批量生产启用应用。KIYO FX STRIP是一个灵活的平台,旨在满足与深蚀刻和浅灰应用以及介电蚀刻和BEOL工艺相关的不断增长的需求。它提供了最大的吞吐量和配方能力,可用于各种多层蚀刻和灰烬调度以及高级流程,以适应与集成设备结构关联的严格公差。它采用可扩展的配方数据库，结合了LAM SEMI-ES7的计算机设备控制系统和先进的真空系统技术以及过程控制能力。LAM RESEARCH KIYO FX STRIP还具有先进的工艺附件阵列，包括自动化工艺端点检测器、自动区域电源控制、可编程工艺时间控制以及自动晶圆清洗能力。低压电源确保了在低压下的精密蚀刻，防止蚀刻过程出现不规则性。再者，这个单元与一系列晶圆尺寸兼容，它有一个模块化的平台，可以适应各种应用。KIYO FX STRIP具有强大的过程可视化功能,具有用户友好的图形界面,允许操作员监视和调整过程。它还具有报告功能,使操作员能够在每次运行开始前分析和微调进程。过程监视、硬件组件监视、温度控制和自动过程控制等功能允许快速响应不断变化的过程变量和高效的过程周期。总体而言，LAM RESEARCH KIYO FX STRIP是一种先进的蚀刻机/灰化机，在很小的占地面积内提供精密蚀刻/灰分处理。拥有一系列有用的工艺附件,如自动化工艺端点检测器, 区域电源控制和晶片清洗,以及集成的报告和过程可视化功能, 它提供深蚀刻、浅灰、介电蚀刻和BEOL工艺， 以及快速响应不断变化的过程变量和减少的设置时间, 使其成为大批量生产支持应用程序的理想解决方桉。