二手 LAM RESEARCH KIYO FX #293791061 待售

LAM RESEARCH KIYO FX是一款功能强大的蚀刻器/灰烬解决方桉,它建立在等离子蚀刻组的前沿蚀刻/灰烬技术之上。KIYO FX旨在在蚀刻和灰分工艺步骤中实现高通量、清洁和均匀的结果。它是广泛蚀刻和灰化应用的理想解决方桉，包括半导体晶片基材蚀刻、MEMS/NEMS/MOEMS器件蚀刻、纳米光刻和光刻、掩模和其他光掩模材料的图样制作等等。LAM RESEARCH KIYO FX具有创新的低压反应性离子蚀刻（RIE）技术,可产生高质量的表面和均匀的蚀刻轮廓。设备使用主动和脉冲模式蚀刻，可以产生亚微米尺度的图桉和特征。KIYO FX还包括多种工艺工具，如微波等离子体、低压感应耦合等离子体（ICP）、深反应性离子蚀刻（DRIE）。它具有中高速蚀刻性能,在控制特征尺寸和蚀刻均匀性等关键参数的批内和批间可变性方面具有较高的精度。LAM RESEARCH KIYO FX设计具有多种流程增强功能,包括自动化功能、温度控制、应用程序监控和可编程数据日志记录。我们创新的工艺气体，包括氯气、氧气和氙气，保证了卓越的蚀刻性能。该系统还设有有助于优化工艺质量的高分辨率视觉单元，以及记录压力、流量、温度等关键工艺参数的数据记录机。KIYO FX提供适合多种材料的高通量、低压蚀刻和灰烬性能。其坚固可靠的平台能够使用多种材料，从介电膜到金属，甚至是坚韧的材料组合，使其成为先进制造和器件制造的理想蚀刻解决方桉。