二手 LAM RESEARCH KIYO FX #293819375 待售

LAM RESEARCH KIYO FX是为满足全球半导体制造要求而开发的高性能、高容量的蚀刻器/asher解决方桉。这种蚀刻和灰化设备经过精心设计,能够为整个半导体行业使用的各种蚀刻和蚀刻/灰化工艺提供业界领先的性能。KIYO FX提供多层不同数字材料的低应力蚀刻/灰化,从而提高产量和质量。该系统利用数字控制器在蚀刻/灰化过程中随时间保持均匀性,并提供从批处理到批处理的一致性。LAM RESEARCH KIYO FX配备了先进的干蚀刻/Asher模块,旨在为蚀刻和灰化过程提供更高的吞吐量和更好的吞吐量一致性。蚀刻/灰化工艺是根据正在蚀刻或灰化的特定层和材料量身定制的。该装置能够在半导体应用中提供高达95%的蚀刻速率和高达60%的蚀刻速率。除了强大的蚀刻/灰化模块外,KIYO FX还具有许多其他功能,可帮助提高蚀刻和灰化过程中的性能和效率。LAM RESEARCH KIYO FX包括一个高度精确的超高频陀螺仪和鹅毛笔驱动器，在蚀刻和灰化过程中提供了板材的精确运动。这种提高的精度和控制极大地提高了工艺的均匀性，并有助于确保每一层的蚀刻和灰度一致。KIYO FX还包括一个定制的测量工具，可以帮助在机器开始运行之前确定给定进程最合适的蚀刻/灰度参数。这是通过测量蚀刻和灰化前后的均匀性，为精度验证和工艺优化提供数据来完成的。LAM RESEARCH KIYO FX专为手动和自动化流程而设计,提供多种操作选项。该工具具有自动化功能,用户可以设置和存储各种可定制的参数化配方。此外，该资产还具有综合的数据收集和报告流程，能够对流程结果进行全面评估。KIYO FX是一种蚀刻和灰化模型,具有卓越的吞吐量速率和均匀性,可提高产量和工艺优化。LAM RESEARCH KIYO FX利用数字控制器、高级蚀刻/灰化模块、压板的精确移动以及数据收集和报告,为使用多层数字材料的制造商提供了理想的蚀刻/灰化解决方桉。