二手 LAM RESEARCH KIYO FX #9311231 待售

LAM RESEARCH KIYO FX等离子体蚀刻器/Asher是一个集成的等离子体蚀刻和后处理系统，旨在为金属、半导体、硅化物、电介质和光学涂层材料等多种表面提供高效、均匀的等离子体蚀刻和后处理。KIYO FX配备了大功率射频发电机，以提供比市面上大多数其他蚀刻机更高的选择性和更好的表面处理。LAM RESEARCH KIYO FX拥有600 x 545 x 280 mm的大腔室尺寸，允许大范围的应用，允许蚀刻更大的堆栈或收集阵列。控制器为直观的GUI提供了广泛的参数范围,允许微调蚀刻过程。等离子体蚀刻器被设计成一个最佳的蚀刻轮廓和最小的损坏的晶片。KIYO FX能够蚀刻具有受控等离子体参数的晶片，以匹配抗蚀剂规格、材料组合和工艺参数。它还包括双卡盘设计，在晶片背面施加压力，以确保更好的蚀刻轮廓。LAM RESEARCH KIYO FX可以在各种气流如Ar、O2、N2和C4F8进行蚀刻，并对每个蚀刻材料部分进行了优化配方，KIYO FX附带了完整的讨论，涵盖蚀刻工艺、蚀刻参数、晶片污染、晶片装卸、晶片测量反馈、腔室维护、诊断。所有这些功能使LAM RESEARCH KIYO FX成为市场上更全面的蚀刻系统之一。它也非常用户友好，可以根据客户的具体需求量身定制。KIYO FX是一个多功能平台，非常适合半导体行业的许多蚀刻应用。坚固的设计允许在一次运行中蚀刻各种商品,包括金属、电介质、绝缘材料和钝化层。该蚀刻系统还具有高效的温度控制、较低的腔室压力和较低的沉积界面，使蚀刻器能够具有卓越的可控性和质量。LAM RESEARCH KIYO FX蚀刻器还提供了较高的数据速率，允许对大零件进行蚀刻。总体而言,KIYO FX是一款出色的蚀刻器/Asher,用于各种曲面的蚀刻和后处理。坚固的设计、直观的用户界面和可调节的参数设置使其成为半导体行业蚀刻应用的绝佳选择。