二手 LAM RESEARCH Kiyo Poly #9353174 待售

LAM RESEARCH Kiyo Poly是一种先进的各向异性干蚀刻器/asher设备，用于各向异性蚀刻光刻剂和聚合物薄膜。该系统旨在提供对选择性、各向异性蚀刻剖面和优良材料均匀性的精确控制。该技术结合了射频（RF）和直流电（DC）偏置功率、预设配方和装有工艺晶片的真空室。Kiyo Poly配备了一个四室直流蚀刻器和一个融入单个紧凑单元的五电极射频发生器。这台机器从一系列蚀刻工艺中汲取灵感，实现光刻胶、聚合物薄膜甚至碳纳米管样品的优化蚀刻。它提供了优越的选择性以及在大面积上具有均匀性的配置文件。Kiyo的干蚀刻工艺是由诸如氯气（Cl2）、三氟化氮（NF3）和热增强氟化乙烯（TEF）等蚀刻气体提供动力的，这些气体根据所蚀刻的材料以多种组合方式使用。加热元件用于在过程控制数据期间生成所需的温度水平，并由机载过程控制器自动监控。利用完整的数字反馈回路实时调整参数的蚀刻配置文件监控软件，对蚀刻的化学性质和参数进行了管理和优化。预编程配方存储在该工具的过程控制器中，提供了各种材料的通用蚀刻。利用蚀刻气体与射频偏置功率和直流偏置功率相结合，对电化学蚀刻光刻剂、聚合物和其他材料产生精确的轮廓控制和理想的蚀刻速率。用户可以定义蚀刻的选择性，甚至可以调整配方以适应样品材料的形状。一个自动晶片装载机使资产能够同时处理几个基板，产生极好的可重复性，准确性和一致性。LAM RESEARCH Kiyo Poly是一款用途广泛、经济实惠且可靠的蚀刻器，适用于半导体、光伏、电信和医疗等多种行业。其先进的特点和坚固的设计使得它成为一个可靠的选择蚀刻一系列具有卓越的均匀性、准确性和可重复性的基板。