二手 LAM RESEARCH Kiyo #9282757 待售
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ID: 9282757
Poly etcher
(3) Chambers (PM2, 3, 4)
With microwave (PM1)
MF (EFEM / TM):
Platform type: V2
(3) BROOKS 002-7200-32 Load ports
BROOKS 138150 ATM Robot
BROOKS 401600-201-0002-FRU TM Robot
EDWARDS A419-42-212 IPump (Ontool pump)
(4) GE 605-109114-001 CPU
(4) LAM RESEARCH 810-099175-103 VIOP
(4) LAM RESEARCH 605-707109-001 Engenuities
WATLOW 778-900046-701 Temperature controller
(3) WATLOW 778-900046-301 Temperature controllers
(3) LAM RESEARCH 810-495659-006 ESC Power supplies
(3) OCEAN OPTICS 685-801852-002 OES
MKS VDMB-23398 VODM
ASTEX AX2630NRC3-Q Microwave source
(3) LAM RESEARCH 839-019090-328 ESC
IGS Gas box
Gas line:
(3) Gas 12 HORIBA Z300
(3) Gas 11 LAM RESEARCH 797-026724-303
(3) Gas 10 HORIBA Z300
(3) Gas 9 LAM RESEARCH 797-026724-508
(3) Gas 8 HORIBA Z300
(3) Gas 7 LAM RESEARCH 797-026724-509
(3) Gas 6 HORIBA Z300
(3) Gas 5 HORIBA Z300
(4) Gas 4 HORIBA Z300
(3) Gas 3
(3) Gas 2 LAM RESEARCH 797-026724-525
(3) Gas1 LAM RESEARCH 797-0267724-624
(3) MKS 649A-25014 He UPC
UNIT UFC1661 O2
UNIT UFC1661 N2
(3) MKS E28B-23747 Process guages
HPS 109070019-CE TM vacuum guage
(2) HASTING HPM 2002 OBE Air lock vacuum guages
(3) ADIXEN ATH2300M Turbo pumps
(3) ADIXEN ATH2300M Turbo pump controllers
(4) ADIXEN ADS1202H PM Dry pumps
(3) RATCHETC BCU-E320F1 Chillers
(3) AE 660-024637-026 BIAS RF Generators
(3) AE 660-900984-008 TCP RF Generators
(3) LAM RESEARCH 848-801420-017 BIAS RF Matchers
(3) LAM RESEARCH 853-800120-112 TCP RF Matchers
(3) LAM RESEARCH 834-030822-025 BIAS RF Cables
(3) LAM RESEARCH 834-030819-018 TCP RF Cables.
LAM RESEARCH Kiyo是一款高效、经济实惠的蚀刻/灰分设备，非常适合半导体晶圆制造和其他相关应用。它配备了高效的石英管等离子体源，便于蚀刻速度比以前的解决方桉快四倍，可重复性得到提高。Kiyo还提供了改进污染控制的优势，这要归功于它的创新设计，它需要最小限度的污染调节。这使其能够达到极低水平的过程和微粒污染。它还允许用户使用一个系统执行多个晶圆处理步骤，由于减少了刀具维护和周期时间，因此节省了大量成本。除了提高晶片加工的速度和质量外,LAM RESEARCH Kiyo直观的用户界面使操作员能够轻松地对设备进行编程以获得最佳性能,而其先进的安全功能则增强了对有害材料的保护。这台机器能够实现高蚀刻速率与超精确的电压和压力控制，以及低温操作。Kiyo可以配置为处理广泛的材料，从各种金属、聚合物和硅化物到最难蚀刻的材料如碳化硅和氮化物。此外,它还可以在生产运行中无缝部署,这要归功于即时可编程配方和自动配方传输等功能。该工具还提供高级监视和诊断功能,因此用户可以快速识别和纠正错误。总体而言,LAM RESEARCH Kiyo是一项非常先进的蚀刻资产,以经济实惠的成本提供业界领先的功能。其直观的图形用户界面简化了培训,其无与伦比的速度和质量使其成为需要短生产周期和高质量产品的组织的理想解决方桉。
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