二手 LAM RESEARCH Kiyo #9298588 待售

LAM RESEARCH Kiyo是一款蚀刻器/asher,旨在为各种大批量应用提供卓越的蚀刻和灰化能力。采用最先进的技术，对于最苛刻的大批量生产要求来说，是绝佳的选择。Kiyo利用Advanced Source-Monitor Polarity （ASMP）技术以及独特的多点电弧辅助蚀刻（MPAE）提供卓越的蚀刻和灰化性能。ASMP为LAM RESEARCH Kiyo提供了在偏置电压和源电流的不同组合下使用同一蚀刻工具的能力，允许复杂的设计变更而无需新的蚀刻工具。MPAE是在基板电极和蚀刻工具之间引发电弧的独特过程，有助于将气体分子以更高的精度和可靠性转移到源监测器。此功能提供了额外的流程可重复性和效率。Kiyo还有一个集成的温度控制室，在蚀刻和灰化的同时确保最佳的温度稳定性。这确保了高质量的蚀刻和灰化，并有助于减少基材损坏的机会在过程中。LAM RESEARCH Kiyo可以蚀刻和/或使直径达8英寸的晶片和厚度达200微米的晶片。具有高密度蚀刻、单级蚀刻、多级蚀刻、亚微米蚀刻等能力。Kiyo是一个功能齐全的工具,与传统的选项相比,它具有多种优势。其先进的源监控极性技术和多层蚀刻结构以最需要的工艺能力为目标,减少了对多工具设置的需求,并实现了更高的吞吐量。它的精密蚀刻能够实现极高的产量，其紧凑的形状和较小的占地面积使其方便地适合小型返工站或实验室。总之，LAM RESEARCH Kiyo是一个在特性上打孔的蚀刻器/asher，是各种大批量应用的理想选择。它提供高精度的蚀刻，优越的蚀刻和灰烬性能，温度稳定，灵活的设计结构。Kiyo承诺将成为任何实验室可靠和高效的工具。