二手 LAM RESEARCH Kiyo #9314591 待售

LAM RESEARCH Kiyo 蚀刻器/asher是一种用于物理去除薄膜和蚀刻基材的装置。Kiyo允许对材料如半导体、多层薄膜、金属和复合材料进行精密处理。通过其强大的平台，用户能够在保持最高生产产量效率的同时取得优异的效果。LAM RESEARCH Kiyo是一款全自动、自伺服控制的设备，提供完整的过程控制。该系统包括一个软件接口，用于控制蚀刻过程参数，允许高度精确的结果与最小的操作员干预。在一个直观的软件窗口中监视和调整所有相关参数。Kiyo还配备了高性能蚀刻室，方便高效蚀刻不同类型的材料。该腔室由不锈钢制成，具有直径可达两英寸的大开放区域，提供了广泛的蚀刻可能性。为降低背面蚀刻的风险，使用玻璃窗盖保护晶圆背面。LAM RESEARCH Kiyo的高分辨率成像装置提供出色的蚀刻图样能见度。这台机器包括CCD相机和LED照明，还采用了边缘增强和自动图像识别等用户可配置的技术。与传统的湿蚀刻工艺相比，Kiyo能够实现超高质量的蚀刻。这是由于多种技术特点，如提供准确一致工艺参数的智能控制工具，以及强大、高流量的干式真空泵和大容量等离子体源，确保了出色的蚀刻性能。所有这些功能使LAM RESEARCH Kiyo成为各种蚀刻和灰化工艺的理想选择,提供卓越的精度和可重复性。它是任何需要高质量蚀刻和灰化性能的加工要求的完美解决方桉。