二手 LAM RESEARCH LF 4500 #9245075 待售

LAM RESEARCH LF 4500是一种高级蚀刻/灰化工具，用于反应性离子蚀刻（RIE）和灰化操作。此蚀刻器/asher提供卓越的性能,并具有高级流程灵活性,适用于各种RIE和ashing应用程序。LF 4500具有坚固的设计,包括高速等离子体腔室和大负载锁,以及快速、精确的配方软件。这个蚀刻器/asher配备了一个多区域端点探测器，它允许快速的腔室清洗和更高效的过程。LAM RESEARCH LF 4500能够在一个工具中执行蚀刻和灰化过程。使用SF6和O2气体溷合物使用LF 4500进行蚀刻操作。蚀刻速率可根据使用的工艺类型和基材进行调整。LAM RESEARCH LF 4500能够提供高精度蚀刻,变化不大。LF 4500还提供了一系列的ashing工艺，包括快速ashing和高精度不锈钢asher选项。这种蚀刻器/asher使用热水浴缸的氟有机物蒸气来实现化学灰化。该方法具有良好的室内清洁度控制和一致的工艺效果.LAM RESEARCH LF 4500具有完全集成且易于使用的配方软件系统。此软件允许用户快速编程蚀刻和灰化操作的配方,从而轻松实现所需的过程结果。该系统还包括高级工艺控制功能,以更好地控制蚀刻和灰化。总体而言,LF 4500是一种可靠且先进的蚀刻和灰化系统。它提供强大的工艺灵活性、精确的蚀刻速率以及快速的蚀刻和灰化操作。凭借LAM RESEARCH LF 4500的高性能及其易于使用的配方软件,用户能够在各种修剪、金属化和mosfet/mask开口处理应用程序中快速可靠地取得优异的效果。