二手 LAM RESEARCH Main body for 2300 Exelan #293665646 待售

LAM RESEARCH 2300 Exelan是一款工业级的asher（蚀刻器），设计用于半导体制造的各种材料的精确一致蚀刻。它配备了专用步进电机和基板处理设备，可以独立快速高效地移动基板，同时保持高蚀刻精度。LAM RESEARCH 2300 Exelan采用基于Windows的高速数字控制器,允许精确蚀刻和复杂的过程序列。该系统有两块独立的热板，每块能够处理多达500块基板。这样可以同时完成多个工作流,从而提高吞吐量和效率。此外，封装在外壳内的是独立控制的双室等离子体源，这些源提供高能等离子体，以产生均匀的蚀刻剖面，而室内残留的气体最少。LAM RESEARCH 2300 Exelan带有直观的用户界面,可通过直观的触摸屏显示器轻松访问所有流程参数。此外,该软件还可以快速轻松地与各种LAM RESEARCH认证的程序集成,从而实现远程机器监控和自动数据采集。LAM RESEARCH 2300 Exelan是为了最大安全而设计的。它具有多个独立的安全功能,包括紧急关机、多个联锁和冗余压力监视器。此外，其高质量的结构包括坚固的隔振和先进的冷却机器，以确保电子束始终指向准确的基板位置。总体而言,LAM RESEARCH 2300 Exelan旨在在工程师的极少帮助下快速准确地蚀刻和加工各种复杂的基板。LAM RESEARCH 2300 Exelan凭借其独立的基板处理工具、双室等离子体源、直观的用户界面以及多种安全特性，是蚀刻大型电子和元件的理想选择。