二手 LAM RESEARCH Metal45 #9351454 待售

LAM RESEARCH Metal45是为半导体晶片的高通量处理而设计的CVD 蚀刻器/asher。Metal45提供了最先进的工艺灵活性,能够无缝集成到生产环境中。LAM RESEARCH Metal45特性包括保形等离子体均匀性、卓越的装卸能力以及优化的过程控制。这些功能使其成为一种理想的蚀刻器/灰化器,用于蚀刻和灰化各种材料,如Cu、Al、TiN,以及要求更高的金属和有机物。Metal45支持标准背面蚀刻和侧壁蚀刻应用。它利用一对独立操作的离轴高密度等离子源，以确保高度均匀的蚀刻和灰分速率。LAM RESEARCH Metal45还利用专有的3SICARD™设备来控制和设置过程参数,这有助于确保持续的高质量结果。Metal45是一个占地面积很小的自动化系统。它旨在方便地集成到生产线中，并提供了一个直观的软件界面，用于蚀刻和灰烬工艺的设置和监控。自动化单元是完全可配置的，以优化单个基板的要求的过程。LAM RESEARCH Metal45还配备了独特的过度蚀刻和重新蚀刻能力，允许在蚀刻和灰烬操作过程中微调工艺参数。Metal45台机器旨在通过工具的图形操作面板实时通知操作员,从而便于监控过程性能。LAM RESEARCH Metal 45的最先进的设计也提供了很高的可靠性和过程重复性，使其成为大规模生产的理想蚀刻器/asher。此外,Metal45还经过认证并符合SEMI S2-0200和通用行业标准（CIS）的要求,适用于大批量批量蚀刻系统。总之,LAM RESEARCH Metal45是一种可靠的高通量蚀刻器/asher,设计用于各种材料类型的可靠、可重复和准确的处理。资产的先进特性使其成为大型生产环境的理想选择。