二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 2 Speed #9293846 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 2 Speed是一款为工业应用而设计的蚀刻器/asher。它是一种全自动设备，旨在提供快速、准确和可重复的半导体晶片蚀刻和灰化。它结合了高级软件控件，为每个流程步骤提供精确的控制。该系统包括一个加工室和一个晶片处理单元，用于处理、处理和后处理具有多种电流液体或气体的晶片。可用于铜、铝或其他金属合金的蚀刻和灰化工艺。NOVELLUS Concept 2 Speed能够处理直径达12英寸（304.8mm）的晶片,表面平面度平均为0.5 µm。晶圆处理机由一个转换室、一个晶圆夹套和一个盒式升降机组成。输送室配有安装在腔室顶部的射频发生器，以及执行工艺晶片物理隔离的铜歧管。此外,LAM RESEARCH Concept 2 Speed采用等离子体清洗工具,旨在改进晶圆清洗过程。它配备了两台射频发电机，一台用于溅射沉积的上部发电机和一台用于射频蚀刻的下部发电机。在两个涡轮泵的帮助下，等离子体清洁资产长期保持上压静止。Concept 2 Speed还具有控制器,它是精确过程控制的基本要素。它包括精确的定时、温度、压力、电流和电压控制，确保统一和精确的结果。LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 2 Speed提供了简单、精确的操作控制,并提供了一个出色的显示面板,可清晰查看工艺室参数。再者，它配备了强大的软件控制扫描仪，使得多个晶片可以同时处理。它有能力储存三种不同的食谱，每种食谱最多256步。这样可以节省生产的复杂性和时间。最终结果是一个由一个软件平台控制的持续安全且可重复的过程。