二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed #293819068 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed是一种蚀刻器/asher,用于半导体制造中的蚀刻、沉积和清洁步骤,其特点使其成为先进技术的理想选择。它是半导体生产中用于反应性离子蚀刻、化学气相沉积、大气压干蚀刻、分离等离子体蚀刻和清洁过程的先进工具。NOVELLUS Speed利用二维平行性在蚀刻沉积过程中以更高的精度和产量提高吞吐量和工艺LAM RESEARCH Speed。此工具可扩展,以适应未来技术的进步,使用户能够快速更换硬件以保持竞争激烈的生产速度。Speed整合了最先进的药物制剂技术，在不产生污染物的情况下，安全准确地控制颗粒通过设备的运输。这一技术使系统能够运输蚀刻和沉积过程所需的细小颗粒，而不会产生有害排放物或产生产量低的副产品。LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed还设有一个先进的软件控制单元，在控制蚀刻和沉积工艺参数时确保分步精度。这台软件驱动的机器允许用户创建定制的工艺，以满足不同基材和工艺的特定性能和质量要求。NOVELLUS Speed也有能力将湿板凳操作整合到单一真空工具中，不需要额外的湿板凳处理，方便湿板凳和主要资产之间的过程信息传递。这种能力有助于提高蚀刻和沉积过程的效率和成本效益。总体而言,LAM RESEARCH Speed是一种先进的蚀刻器/灰化器,非常适合先进的工艺技术,因为它具有提高吞吐量的二维平行性、用于控制颗粒运输的尖端药物配方技术以及用于定制工艺创建的软件控制模型。它也有能力将湿板凳操作整合到设备中，使其更具效率和成本效益。