二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed #9235078 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed是一种用于晶圆处理的蚀刻器/asher。它是两个不同系统的组合，LAM Etcher/Asher和NOVELLUS Asher。该设备旨在满足各种晶片加工需求，包括单晶片步骤、平面化和薄膜沉积。LAM Etcher/Asher是一种先进的等离子体蚀刻系统，设计用于精确晶圆图样。它使用双级ICP源配置生成高度统一和高效的蚀刻过程。该单元采用专利Microzone™蚀刻机，提供精密、高通量的最佳分辨率蚀刻。它设计用于控制所有基板上的蚀刻参数，这有助于确保工艺结果的均匀性。蚀刻室可靠性高，可支持广泛的晶圆加工需求。NOVELLUS Speed Asher是一款先进的Asher工具，可与LAM Etcher/Asher配合使用。它旨在提供精确和均匀的晶圆热过程，并提供尽可能最快的循环时间。采用高LAM RESEARCH速度气态灰化工艺在晶片上沉积二氧化硅薄膜。该资产为广泛的晶圆应用提供了快速、准确的晶圆热处理，包括钝化、平面化和金属化。在焊料回流之前，粉碎机还可用于晶圆表面的清洗和清洗。LAM Etcher/Asher和Speed Asher的结合为研究和生产提供了一个高度可靠、生产性的晶圆加工模型。该设备提供高吞吐量、准确的工艺结果和工艺一致性，LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed Asher提供的快速周期时间。其先进、易于使用的控制系统可确保快速一致的结果,并帮助用户快速设置和优化其流程参数。LAMNOVELLUS Speed Asher是为各种应用处理晶片的可靠且经济高效的方法。