二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed #9293848 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed是一种用于半导体制造业的蚀刻和灰化工具。它旨在利用创新技术实现高吞吐量,从而实现更快的阵列设计。该系统采用两步工艺进行蚀刻和灰化，从化学蚀刻步骤开始。在此步骤中，在NOVELLUS Speed平台内的真空室中生成等离子体。化合物，例如Cl2，随后被引入等离子体，从而产生高精度的蚀刻过程。然后,蚀刻后的保护膜可以保护蚀刻后的特征,从而允许后续的粉刷和剥离步骤。Ashing步骤利用O2、He和Ar的独特三向组合，提供清洁高效的Ashing过程，而不需要过多的颗粒堆积。此外，LAM RESEARCH Speed平台能够控制室内压力，确保精确蚀刻和灰化条件。Speed的高级算法还允许平台就如何调整腔室的压力和温度以优化蚀刻和灰化结果做出独立的决定。LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed非常适合各种工艺，可以处理最关键的半导体阵列设计需求。其高通量功能使其成为需要高级蚀刻和灰化的过程的一个有吸引力的选项,例如MEMS设备、finfield-effect晶体管（FET）和超大规模集成（VLSI）。此外,NOVELLUS Speed能够处理各种晶圆大小、形状和厚度。LAM RESEARCH Speed设计了直观的用户界面，还配备了自适应测量系统，使工具能够提供实时数据分析，以更好的性能优化。这种功能强大的工具也非常可靠,具有较低的停机速率和一致的晶圆吞吐量。总体而言,Speed是一个高级蚀刻和灰化系统,它为阵列化应用程序提供高通量和无与伦比的精度。对于那些在半导体制造过程中需要卓越性能的人来说，这是一个理想的选择。