二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed #9315261 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed是一种蚀刻器/asher，用于处理半导体元件。该机设计为生产产率和性能优异的优质硅片。NOVELLUS Speed利用高精度、高通量的物理蚀刻和化学沉积工艺,同时使用湿法和干法。LAM RESEARCH Speed被设计为能够高效生产单结构（或标准）集成电路、MEM（微机电系统）和光子器件。Speed使用两种技术进行晶圆加工-物理蚀刻和化学沉积.物理蚀刻是使用化学溶液或气体蚀刻层以创建所需结构的过程。化学沉积是两种物质的化学反应导致材料沉积在表面或层内的过程。LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed允许各种材料和厚度的图样化，以及控制表面完整性的能力。NOVELLUS Speed采用高分辨率可视化在线检测设备,可直观检查和测量硅片的多个方面。该系统提供更高的日产率、更高的吞吐量、更好的质量和更低的维护成本。LAM RESEARCH Speed还包括一个可编程的基板支撑单元，以及基板负载和卸载自动化。这样可以确保晶片的正确支撑和处理,并确保晶片在处理过程中不会损坏。速度允许使用实时数据采集机进行流程监控,从而提供流程改进或问题的近乎即时的反馈。集成的板载数据存储工具在运行过程中存储所有进程数据,从而提供对蚀刻/沉积过程的完全控制。LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed还采用了LAM的灵活处理中心（FPC）软件,通过实时调整对硬件和流程设置进行了更大的控制。FPC允许灵活地执行配方,从而可以使用单个平台完成各种不同的流程和应用程序。NOVELLUS Speed Etcher/asher是一款高可靠性、高LAM RESEARCH Speed、经济高效且精确的工具,用于制造集成电路、MEM和光子器件。通过利用高精度的自动化过程控制,以及先进的在线目视检查和基板处理技术,Speed确保了晶圆的一致性和可重复性。FPC软件允许对特定配方和工艺控制进行用户友好的编程,从而实现多用途、高效的硅片制造。