二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed #9351453 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed是一种蚀刻器/asher，用于先进的半导体制造。它专为最佳吞吐量而设计,每小时最多可处理600个晶圆。它是一种高性能、高通量的蚀刻器，专为高级半导体器件处理中最苛刻的任务而设计。NOVELLUS Speed techer的核心技术是其highLAM RESEARCH Speed气体系统结合其先进的等离子体源。气体系统使用一系列气体分散器，使气体在被加工的晶圆表面上均匀分布，而等离子体源有广泛的气体类型和压力可供选择。这样可以精确地控制蚀刻过程,对横向特征尺寸进行精细控制,并有效地优化工厂的整体吞吐量。蚀刻工艺基于与反应性离子蚀刻（RIE）相同的原理。Speed配备了锁载室、蚀刻室、等离子源和气体系统。晶片被装入负载锁室，在那里进行预清洗和预处理，以准备晶片表面进行处理。经过预清洗和预处理过程后，晶片被转移到其中注入反应气体的蚀刻室。控制室内使用的压力和气体类型以获得所需的蚀刻结果。然后在蚀刻室中生成等离子体以启动蚀刻过程，加热的反应气体分子与晶片表面反应形成薄表面膜，然后将其蚀刻掉。蚀刻器还具有多个控制接口模块,如原位腔室诊断包、手动覆盖和高级用户控制,以确保最佳蚀刻结果。从预清洗和预处理到蚀刻，能够监控和控制整个过程，从而实现最大程度的过程均匀性和最小的偏移。LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed Etcher已被证明是一种高效、可靠且经济实惠的高批量生产蚀刻解决方桉。它的灵活性和用户友好的控制界面使其成为制造商希望降低制造成本和提高生产吞吐量的理想工具。无论是用于设备的深层蚀刻，还是简单的平面化和化学机械抛光，NOVELLUS Speed蚀刻机都提供了最好的效果。