二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293614948 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款蚀刻器/asher，旨在方便先进的半导体加工。它采用共平面高通量拼贴技术,支持大于20K矩阵点的模式密度,从而实现更高的吞吐量和更快的设备覆盖率。此外,NOVELLUS Vector Express还能够在不均匀的层厚度以及干式和湿式蚀刻上执行多图桉化层传输,从而使用户可以更好地控制其蚀刻过程。LAM RESEARCH Vector Express配备了包括批处理和自动优化工具的综合软件套件。这使用户能够利用增强的工艺步骤组合,包括蚀刻、保形涂层、背磨和图案,同时提供统一和可重复的结果。该软件套件还提供了热和电监控功能,帮助确保在多个晶圆运行过程中实现统一和可重复的结果。在工程规格方面，Vector Express提供各种蚀刻速率，从0.1到1 µm/min不等，单边水平槽可重复性± 0.4 µm/min，宽度降至10 µm。它还能够具有920 x 700 mm的腔室尺寸，设计用于多达12英寸的晶圆，并支持多种晶圆材料。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express旨在满足半导体市场不断变化的需求,展示了NOVELLUS致力于提供顶级蚀刻和灰化设备的承诺。它的软件套件和工程规格为用户提供了一个强大的工具包，帮助他们实现精确和可靠的蚀刻过程。NOVELLUS Vector Express是半导体制造工艺的一个有价值的补充，它允许用户以更高的精度和更快的吞吐量创造产品。