二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293615299 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一种先进的蚀刻/asher技术，用于沉积介电和金属层等材料，并进行高精度蚀刻和清洗。该系统能够生产准确、可靠和高产的产品，并具有统一和可复制的工艺。NOVELLUS Vector Express是各种应用中高级设备研发和生产的完美工具。LAM RESEARCH Vector Express配备了两个精确控制的气体注入系统，产生等离子源气体的平行流动，屏蔽和蚀刻气体，从而实现了高质量的蚀刻和清洁结果。它还具有针对任何应用的高性能蚀刻的优化压力和真空系统。真空和压力要求是可变的和可调的，以适应工艺要求。Vector Express能够提供出色的物料去除和清洁。它被设计成具有非常小的光束尺寸，能够使材料的气相沉积更加精确，而不会在基板的面积上有任何明显的厚度变化。这就产生了均匀一致的介电层厚度,这是设备性能优异所必需的。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express配备了多种流程监控解决方桉，可实现可靠的流程控制。这些溶液可监测压力和温度、电极数量、沉积或去除的物料数量以及其他工艺参数。此数据允许可重复和可靠的结果,以确保设备性能一致。NOVELLUS Vector Express被用于包括半导体、光伏器件制造等多种工业应用。该系统能够以极高的精度、均匀性和可靠性生产出最先进的应用程序所需的高质量设备。此外,LAM RESEARCH Vector Express能够轻松集成到工业自动化生产系统中,使其成为工业生产环境的理想工具。这种先进的蚀刻器/asher使其成为最可靠的蚀刻解决方桉之一。