二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293625918 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款全自动蚀刻器/asher,旨在以低拥有成本提供高吞吐量、高产品质量和可重复的工艺性能。NOVELLUS Vector Express凭借其强大、可靠的设计以及模块化、可扩展的体系结构,获得了卓越的性能。LAM RESEARCH Vector Express采用化学机械抛光（CMP）的原理：将用于去除表面材料的机械力与用于溶解剩余暴露材料的化学作用结合起来。这使得Vector Express能够有效地从工件中去除不需要的表面材料,从超精确的水平降低到纳米深度,包括铝、钨和其他金属的薄膜。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express配备了广泛的腔室配置，以满足各种客户需求，包括湿法/干法、等离子体蚀刻和低压干法蚀刻。每个配置都配有蚀刻工具，可以快速换出，不需要腔室重新限定。该腔室配备了端点检测、腔室评估、单机工序等自动化机械功能，使操作直观高效。NOVELLUS Vector Express还配备了集成的生产管理设备,可自动跟踪每个晶圆的进度,使客户能够实时了解其蚀刻/愿望操作。该系统还提供了一种存储和召回配方数据的方法,确保在整个生产过程中获得一致、可预测的结果。LAM RESEARCH Vector Express是为了满足紧密的粒子计数需求而设计的，带有可消除环境粒子的数位化大气控制单元。该机还提供了先进的粒子控制解决方桉，带有直接粒子测量工具，使工艺工程师能够精确调整加工条件，以尽量减少污染。最后,Vector Express附带了一套软件解决方桉,可减少停机时间并提高流程产量。这些解决方桉（如集成的主动诊断和过程监控工具）使客户能够最大限度地提高效率和生产力,并将成本节约提升到新的水平。总体而言,LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款先进的蚀刻器/Asher,提供强大、可靠的性能和卓越的吞吐量,具有卓越的可重复性和较低的拥有成本。NOVELLUS Vector Express通过其模块化体系结构和集成的软件解决方桉,使控制和监视过程变得轻松,提高了产量并最大程度地减少了停机时间。