二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293652040 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款先进的等离子体蚀刻器/asher，用于精密微加工工艺。这种用途广泛的工具具有一个高性能的等离子体源能够蚀刻和灰化各种材料，包括金属，绝缘体和半导体。NOVELLUS Vector Express具有针对每种基材类型优化的可调压力和设定点,可产生优异的蚀刻效果,不会损坏基材或工艺。LAM RESEARCH Vector Express具有双射频发生器和专用高压源,可实现复杂结构的深蚀刻深度和微米级精度。Vector Express非常适合高通量生产，循环时间快，真空和反应室调节最小，化学用量少。其高度自动化的操作允许轻松设置和监视参数,从而实现快速、可重复的结果。该系统还具有自动调谐功能，可以校准等离子体源以获得最佳性能。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express凭借其先进的诊断和车载气体溷合分析系统,确保了精湛的蚀刻质量和最小化的工艺可变性。除了蚀刻之外，NOVELLUS Vector Express还能够进行灰化、层剥离和其他干燥处理操作。其通用、坚固的气体分配平台针对特定的工艺化学进行了优化，并提供了与底物无关的可重复蚀刻结果。而凭借其高性能的淋浴头，它可以蚀刻和灰化多达6英寸的晶片而不会降低工艺性能。LAM RESEARCH Vector Express还具有独特的等离子体蚀刻备份功能,使用户可以快速轻松地将蚀刻设置恢复到以前的优化状态。Vector Express是精密微加工应用的理想工具,可提供快速、准确和可靠的性能,使制造过程从研发阶段快速转移到大批量生产阶段。