二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293748930 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一种专门为半导体行业大批量应用而设计的先进蚀刻器和asher技术。该设备结合了先进的蚀刻/灰分技术如等离子体辅助蚀刻/灰分（PAE）与多种基板、先进的桶/泵配置以及其他配套技术来优化工艺。该系统将多种工艺技术结合到一个平台中,可提供卓越的吞吐量和产量。PAE可实现高蚀刻速率和低粗糙度,并具有晶圆盘面和边缘变形等最小化缺陷。此外，通过使用浮动玻璃、熔融石英、康宁高清电视等多种基材来启用蚀刻和灰分工艺。通过结合先进的蚀刻技术和灰分技术，NOVELLUS Vector Express能够提供对多种材料和基材的严格控制。LAM RESEARCH Vector Express平台具有高度可配置性,可用于针对各种流程要求定制解决方桉。该平台由矢量处理单元和多过程控制器两个主要模块组成。Vector Processing Cell包括蚀刻/灰分过程的所有组件,如基板支架、真空卡盘、等离子体源、蚀刻和灰分站以及冷却装置。Multi Process Controller允许用户在一次运行中轻松执行多个进程,如蚀刻和灰化。Vector Express还具有高级远程监视、诊断和跟踪功能。远程监控使用户能够访问有关蚀刻/灰烬过程的所有详细信息,如蚀刻/灰烬速率、温度、压力等。用户还可以追踪蚀刻食谱，以获得可追踪性和可重现性。机器还设计了全工具监控，因此用户可以查看电流蚀刻/灰分计数、压力和温度数据以及周期计数。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express凭借其先进的技术,通过严格的工艺控制和优越的吞吐量和产量,实现了高容量、高效的蚀刻和灰化。平台的多功能性使其能够根据广泛的流程要求进行定制，其先进的远程监控和可追踪性功能提供了完整的控制和流程管理。