二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293775691 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 293775691
晶圆大小: 12"
优质的: 2011
System, 12"
(2) BROOKS Vision 9 loader
KASHIYAMA NV60N-5 Cooling pedestals in loadlocks
ATM Robot
Controller kit RBT / Armset, 8.4"
Vortex controller
IOC Controller
Chase computer
TEVET
Cable with accessory
Loadlock
Process chambers:
MKS AX7645RH-01 Remote Plasma Sources (RPS)
MKS AX7645PS-01 Remote Plasma Sources (RPS)
COMDEL CLX-2750 RF LF Generator : 2.75 KW
AD-TEC AXR-2000 RF HF Generator : 2 KW
Process modules:
MKS Baraton 10 Torr
MKS Baraton 1000 Torr
Gas box:
MFC number / Make / Model / Gas / MFC Size
MFC1 / AERA / FC-D980C / SiH4 / 1.5 SLM
MFC2 / AERA / FC-D981SBC / N2 / 1.0 SLM
MFC3 / AERA / FC-D981SBC / C2H2 / 5.5 SLM
MFC4 / AERA / FC-D981SBC / H2 / 10 SLM
MFC5 / AERA / FC-D981SBC / He / 20 SLM
MFC7 / AERA / FC-D982C / N2O / 25 SLM
MFC8 / AERA / FC-D981SBC / O2 / 25 SLM
MFC9 / AERA / FC-D981SBC / NF3 / 3 SLM
MFCB / AERA / FC-D981SBC / N2 / 10 SLM
MFCC / AERA / FC-D981SBC / Ar / 35 SLM
MFCD / AERA / FC-D981SBC / Ar / 5 SLM
2011 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express （VX）是一款蚀刻器/asher设备，设计用于在各种应用过程中产生准确、高质量的电路模式。VX系统配备了最先进的技术，使其能够执行精确的模式，同时实现高容量吞吐量和优异的均匀性结果。VX利用先进的烧蚀控制软件，使其能够精确控制蚀刻和灰化过程。这允许用户定义要蚀刻的精确图桉，以及精确的蚀刻深度和横向精度。LAM的Auto@@-Align和Auto@@-Rotate功能进一步增强了该单元,该功能可以移动和旋转模式,从而更好地对齐和准确性。VX也是高度模块化的，允许用户根据自己的需要配置机器。该工具采用Jet-Step过程,以确保统一且可重复的模式。这包括几个步骤，包括一个预蚀刻，其中基板预涂有一个耐蚀刻材料。接下来是一个主蚀刻步骤，在该步骤中对图样进行实际蚀刻。最后,非蚀刻步骤可确保去除任何多余的材料或残留物。VX还配备了双多面照明器（DFI）。它由一个反射式多兰伯式光学封装组成，由两层的f-theta和远心透镜组成。这允许以多方向方式进行蚀刻，从而允许更精确的蚀刻。该资产还包含一个内置的视觉模型，确保在蚀刻过程中获得卓越的注册。这保证了成品的质量和均匀性。此外，该设备的设计旨在减少颗粒污染，最大限度地减少停机时间。它具有纳米颗粒收集系统，专门设计用于在蚀刻过程中捕获颗粒，防止颗粒污染基质。这还包括一个冷凝室，它可以控制环境和有效捕获颗粒。最后,VX设备具有高级诊断软件。这允许用户监视不同基板的蚀刻和灰化参数，使他们能够进行调整和优化机器以获得更好的结果。所有这些功能使该工具能够实现无与伦比的精度、准确性和吞吐量,从而获得高质量的成品。
还没有评论