二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293793396 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款先进的蚀刻器和asher设备，能够实现亚微米设备的高通量生产。它针对生产用于制造现代半导体器件的高度复杂、高纵横比结构进行了优化，包括FinFET、MURA和其他先进结构。NOVELLUS Vector Express蚀刻器系统将物理蚀刻与选择性和精确度相结合。它提供三种不同的蚀刻模式：各向同性蚀刻、定向蚀刻和过度蚀刻。各向同性蚀刻使用单个蚀刻面膜从四面八方创建均匀的蚀刻。定向蚀刻是针对高长宽比结构而优化的,它使用两个蒙版以实现高垂直选择性-允许从顶部进行蚀刻,侧面蚀刻仅在蒙版未覆盖的区域进行。过度蚀刻模式针对超光滑的氧化物蚀刻进行了优化,对于精确的修剪操作,过度蚀刻可达到两毫米。LAM RESEARCH Vector Express还设有一个集成的现场监控单元，用于蚀刻质量保证。这台机器能够对端点检测和过程优化进行连续监控。它配备了CF4蚀刻源和热表面源,能够对细腻的特征进行更高的通量处理,并最大限度地降低对底层氧化物层的损坏风险。该工具还具有一个隔离、无静电的加工室，以确保最高的氧化物质量。Vector Express蚀刻器和asher资产的设计具有非常高的模块化、灵活性和可扩展性,允许将来进行升级和扩展。它包括一个广泛的食谱和食谱开发工具库，通过手工调整和优化过程参数，使要求最苛刻的应用程序成为可能。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express非常适合在高级封装、eWLB和3D-stacking制造过程中集成过程,从而提高可靠性并提高制造产量。