二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293800039 待售
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ID: 293800039
晶圆大小: 12"
优质的: 2010
System, 12"
Primary process module: SION
Secondary process module: PEOX
RPC Generator: Astron EX
RF Configuration: SIRF
Interconnect cable length: 100 ft
Heated top plate
Nickel-plated chamber
Top plate tubing size, 1/4"
Chemraz chamber gate valve
Apex HF Generator: 3 kW
PDX 2500 LF Generator
Chemraz O-Rings
Process manometer
(4) Viewports
Servo spindle
Pedestal, 12"
Minimum Contact Area (MCA): Pin and ball
Carrier ring
Standard shower head
Rapid pin kit
Gas box options:
Gas box interlock: H2 on channel 3
13-Channels
Non-standard system features:
NSR504691
NSR505199
UI Options: Ballroom
UI Location: Left
4-Color light tower
Front signal tower mount: Buzzer arm mount
Facial color: Sky white
BROOKS AUTOMATION ATM Robot
Friction end effector
(2) FOUPs
BROOKS Load port type
BROOKS RFID Reader
Mini environment lamp color: Yellow
No ionizer kit
TAKEX Light curtain option
EMO
FFU
KASHIYAMA NV60 Load lock pump
PC With cart
Cable length: 50 feet
Operating system: Windows 2000
2010 vintage.
LAMLAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款高级高性能蚀刻器/asher，用于各种工业应用。该设备旨在蚀刻和/或粉刷各种半导体材料，包括硅和掺杂的二氧化硅玻璃。它能够蚀刻宽度不超过10微米、深度不超过200微米的特征。NOVELLUS Vector Express系统包括主处理单元、气体处理模块和远程控制器。主处理单元由质量流控制器、电源、射频发电机、负载锁、退火站组成。气体处理模块将过程气体供应到腔室,包括蚀刻剂和保护剂（如果需要）。负载锁最多可容纳两个晶片，并允许快速加载和卸载设备。LAM RESEARCH Vector Express设有不同的蚀刻工艺，包括各向异性湿蚀刻，用于隔离玻璃中的硅或微管。其多步蚀刻（MSE）工艺允许创建具有所需形状的深沟,而不会导致缺陷或断裂。它还提供了Bosch设备蚀刻工艺，这是一种基于光刻的蚀刻工艺，用于创建与硅紧密接触所需的形状。Vector Express还提供退火。这一过程使得晶片不会开裂，减少不需要的缺陷，提高产量。根据材料的不同，可以应用低压快速热退火、低压射频退火或低张力射频退火。这台机器还提供了使用O2等离子体的可能性，以进行额外的除尘和对蚀刻特征的无氧化物清洗。最后,LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express工具是一种高性能工具,能够为各种工业应用提供高产率。它为不同材料提供了广泛的蚀刻工艺，包括不同材料的绝缘和协同集成。它还提供先进的退火工艺和氧气等离子体清洗，以优化产量和减少缺陷。
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