二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293800642 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一种先进的单晶片蚀刻器/asher技术,旨在在广泛的应用中提供更高的性能。它能够按顺序执行蚀刻和灰分步骤,以产生高质量的结果。NOVELLUS Vector Express提供了卓越的重复性和超快周期时间,为各种蚀刻和灰烬应用提供了高效、更高的吞吐量和灵活性。该机能够在需要良好的均匀性和可重复性的蚀刻过程中进行高通量处理，设计用于精确的基板温度控制。它拥有先进的模块化架构，集成了两个NOVELLUS工艺室，一个微波发生器和一个射频发生器在一个单元中。LAM RESEARCH Vector Express提供多种蚀刻和灰分应用的快速、精确处理，如MEMS、复合半导体、硅片稀释和厚金属加工。高通量设备以高达80um/min的蚀刻速率处理高纵横比（3：1）中的小特征尺寸（0.2um）。Vector Express能够处理广泛的材料，包括硅、砷、氮化钛、有机材料、铝和聚酰亚胺。此外,其集成的多工艺室配置允许在单个周期内处理蚀刻和灰烬步骤。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express预装了四个工艺配方，一个专门蚀刻，三个灰分配方。NOVELLUS Vector Express是一个精确且经济实惠的蚀刻/灰化系统,可增强对金属和有机沉积过程的控制。它具有几种先进的工艺控制特点，包括精确的温差控制，以提高工艺精度，自动互锁，以更快的底物加载，以及自动调整，以实现最佳的均匀性。此外,该单元还包括一个易于操作的触摸屏图形用户界面,以及一个直观的模板语言和交互式图形编程,可简化设备设置并减少停机时间。LAM RESEARCH Vector Express还配备了利用流程数据消除潜在产量和停机时间的流程监控机器。Vector Express是一种先进而可靠的蚀刻解决方桉,它提供了更好的均匀性和可重复性,并为一系列蚀刻和灰烬应用提供了更高的吞吐量。其集成的模块化体系结构可实现出色的过程控制,确保统一且可重复的结果。该工具可靠且易于使用,预装了多种工艺配方,为蚀刻和灰分处理提供了更大的灵活性。其直观的图形编程和过程监控资产使其成为经济高效的蚀刻和灰化解决方桉的理想选择。