二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293802072 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一种用于晶圆光刻的蚀刻/灰度设备。该系统与一系列标准光刻胶兼容，能够支持多达五种不同的蚀刻工艺。NOVELLUS Vector Express专为晶圆紫外线曝光应用而设计，提供了卓越的进给速率、改进的均匀性和宽广的操作窗口。这个单元有一个六场旋转卡盘，工作与正负图样，允许单面和双面蚀刻过程。它还具有多孔径阵列,可在大面积上提供更高的曝光均匀性。其光场由红色、绿色和蓝色LED曝光源组成,可针对各种蚀刻工艺进行微调,以确保每个晶片的精度和质量。该机还具有先进的脉宽调制（PWM）控制器，有助于精确控制蚀刻速率。PWM控制器包括一个内置的诊断工具，可最大限度地缩短优化时间并提高产量。该资产支持用于快速批处理和配方召回的内存可编程过程。它还与DMD、DFB、ACORN、SMD等一系列流行的光刻模型控制器兼容。此外，LAM RESEARCH Vector Express采用自上而下的沉积工艺设计。这提供了更好的边缘偏差控制、更高的吞吐量速率和改进的均匀性,从而提高了产量。该设备还具有多区气体输送系统，与其他光刻系统相比，该系统有助于优化光刻胶图样，并允许更快的工艺周期和更少的过度曝光。此外,Vector Express还具有先进的安全功能,可确保设备安全使用。它包括在处理晶片之前的两级降压和清除过程。在光刻工艺的所有阶段都保持超高真空，并且其水冷掩模级始终可用于最大程度地减少晶片上的应力。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express凭借其强大而高效的光刻能力,是寻求生产高质量芯片和晶片的半导体制造商的理想解决方桉。其扩展的功能集提供了支持各种蚀刻工艺所需的多功能性,其先进的安全功能使其易于使用,从而确保用户始终完全控制其晶圆的生产。