二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293829992 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款为半导体器件制造而设计的高级蚀刻器/asher。它采用了领先的高密度、高生产率技术。通过提高利用率、可靠性和可维护性,该设备提供了精确度和准确性,同时降低了总拥有成本（TCO）。该系统采用易于维护的设计,采用模块化组件,便于更换,并最大程度地减少了停机时间。NOVELLUS Vector Express包括多种定制工具，用于优化单元性能和提高产量。这包括执行模式处理和沉积处理的专门工具。该机还包括用于控制基板温度和压力的精密工具，可实现薄膜沉积和蚀刻工艺的均匀性和精确度。该工具基于先进的基于等离子体的蚀刻和通过蚀刻技术。它具有专有的Lam Process Convergence Control。这一特性将矢量跨导、能量控制和蚀刻速率控制算法结合在一个排气资产中，允许优越的控制和均匀性，同时减少所需消耗品的数量。该模型还具有集成的负载锁定功能,可快速、无缝地传输工艺基板。高速传输功能允许更快的吞吐量，可以减少产品周期中的周转时间。LAM RESEARCH Vector Express的设计与广泛的工艺化学体系兼容，使其非常适合各种应用。此外，该设备旨在与大多数电化学系统配合使用，并能够与各种蚀刻化学装置配合使用。该系统包括一系列安全特征，包括控制废气和蒸气清除的预防措施。这样可确保安全高效的蚀刻/通过环境。总体而言,Vector Express是一款高效可靠的蚀刻器/asher。它的模块化设计使它们易于维护,而其先进的技术则支持高密度和高生产率的过程。该股还具有先进的安全功能，可防止挥发性气体和化学品产生的危害。这使得它成为半导体器件制造的理想选择。